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1 范圍GB/T 11446 的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢測規則。本部分適用于電子和半導體工業用高純清洗用水。2 規范性引用文件下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其＊新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀器測試方法GB/T 11446.10-2013 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法3 術語和定義下列術語和定義適用于本文件。3.1 電子級水 electronic grade water電子和半導體工藝過程中所用的高純水。3.2 電阻率 resistivity在規定溫度下，1cm3(正立方體)水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號ρ表示，單位為歐姆厘米（Ω·cm）,純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm(25℃)。3.3 全硅 total silicon水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態存在的硅的總量。3.4 可溶性硅 soluble silicon以單一分子狀態存在于水中的溶解性硅酸鹽。3.5 微粒性物質 granular matter除氣體外，以非液體分散在水中，并形成非均相混合物的物質。3.6 總有機碳 total organic carbon；TOC水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。3.7 吸附 absorption某些多孔性粒狀物質由于表面活性作用而具有吸著某些物質的現象。3.8 凝聚 coagulation在源水中加入某種電解質后，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現象。3.9 絮凝 flocculation水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉淀的現象。絮凝一般是再凝聚作用后緩慢進行，可除去水中更細的微粒。3.10 砂濾器 sand filter用于盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置。3.11 活性碳過濾器 activated carbon filter裝有粒狀活性碳的過濾器，用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余氯。 3.12 離子交換 ion exchange一種不溶性物質與一種液體之間相互交換離子的可逆過程，該過程中物質并無實質性結構變化。3.13 離子交換樹脂 ion-exchange resin一種合成的有機離子交換材料。3.14 去離子水 deionized water經過離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質的高純水3.15 再生 regeneration離子交換過程操作循環中的一部分。在該部分中，用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢復交換能力。3.16 復合床 complex bed將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中，將兩柱串聯，使水依次通過兩個柱而被純化。3.17 混合床 mixed bed將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻，填充于同一離子交換柱中，其純化效果相當于許多復合床串聯使用。3.18 電滲析 electrodialysis一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分割成一系列小室。水流通過小室時，在電流電場作用下，水中陽離子向陰極方向移動，但不能通過陽膜；陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。3.19 逆向滲透 reverse osmosis用半透膜將濃水和淡水隔開，并在弄水上施加比滲透壓更強的機械壓力，則濃水中大部分水透過半透膜而雜質仍留在其中，達到分離提純的目的。3.20 反滲透膜 reverse osmosis membrane用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為0.02μm或更小，可用于除去無機離子、有機物、細菌等，使水純化。3.21 微孔膜濾器 membrane filter一種平均孔徑（直徑）大于0.01μm的薄膜，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。3.22 超過濾 ultrafiltration一種過濾方法，在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體和細菌等。3.23 終端 terminal高純水生產流程中經過各道凈化工藝后，水的出口或使用地點。3.24 無菌 sterile不含任何活有機體（不論是活躍的或休眠的）。3.25 PH水溶液中氫離子活度的負對數或氫氧根離子活度倒數的負對數。4 分類和標記4.1 分類電子級水分為四個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級。4.2 標記Ⅰ級電子級水標記為：EW-Ⅰ。Ⅱ級電子級水標記為：EW-Ⅱ。Ⅲ級電子級水標記為：EW-Ⅲ。Ⅳ級電子級水標記為：EW-Ⅳ。 5 要求電子級水的技術指標應符合表1規定。表1 電子級水的技術指標項目技術指標EW-ⅠEW-ⅡEW-ⅢEW-Ⅳ電阻率（25℃）/MΩ·cm≥18（5%時間不低于17）≥15（5%時間不低于13）≥12≥0.5全硅/（μg/L）≤2≤10≤50≤1000微粒數/（個/L）0.05μm~0.1μm500---0.1μm~0.2μm300---0.2μm~0.3μm50---0.3μm~0.5μm20---＞0.5μm4---細菌個數/（個/mL）≤0.01≤0.1≤10≤100銅/（μg/L）≤0.2≤1≤2≤500鋅/（μg/L）≤0.2≤1≤5≤500鎳/（μg/L）≤0.1≤1≤2≤500鈉/（μg/L）≤0.5≤2≤5≤1000鉀/（μg/L）≤0.5≤2≤5≤500鐵/（μg/L）≤0.1---鉛/（μg/L）≤0.1---氟/（μg/L）≤1---氯/（μg/L）≤1≤1≤10≤1000亞硝酸根/（μg/L）≤1---溴/（μg/L）≤1---硝酸根/（μg/L）≤1≤1≤5≤500磷酸根/（μg/L）≤1≤1≤5≤5006 試驗方法6.1 電阻率電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定。6.2 全硅含量（以二氧化硅計）電子級水全硅（以二氧化硅計）含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。6.3 微粒數電子級水中微粒數按GB/T 11446.9-2013進行測定。6.4 細菌總數電子級水中細菌總數按GB/T 11446.10-2013進行測定。6.5 痕量金屬含量電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。 6.6 氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定。6.7 總有機碳含量電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定。7 檢驗規則7.1檢驗部門電子級水的檢驗均應在有資質的檢驗部門進行。7.2 檢驗分類電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗。7.3交收檢驗7.3.1 抽驗項目電子級水中電阻率、鈉離子、全硅（以二氧化硅計）為交收檢驗項目。7.3.2 合格判據在用水終端采樣，檢驗后檢驗結果如有一項或一項以上不合格時，應再次采樣經行檢驗，如仍不合格，則該批不合格，應提出改進措施直到水質合格。7.4 例行檢驗（全檢項目）7.4.1 檢驗項目檢驗項目為表1規定的全部項目。檢驗順序應以不影響后序實驗結果的原則進行檢驗。7.4.2 不合格判定在用水終端采樣后進行例行檢驗，檢驗結果如有不合格項時，應再次采樣進行檢驗，如仍有不合格項時，應提出改進措施直到水質合格。7.4.3 檢驗頻次例行檢驗至少每年進行一次，當制水條件發生變更時也應進行例行檢驗。8 采樣、貯存、運輸及標志8.1采樣、貯存、運輸電子級水的采樣、貯存、運輸應符合GB/T 11446.3-2013的規定。8.2 標志在用水終端采樣進行檢驗時，水質合格后應附有檢驗合格證，合格證應包含如下內容：名稱及級別；各項技術指標；制水單位；供水日期；檢驗員簽章及檢驗日期。
＊低要求 根據《化妝品生產企業衛生規范》的要求，化妝品生產用水的水質至少應達到生活飲用水衛生的標準（GB5749-2006）。這也是工藝用水的＊低要求。 一般標準 多數化妝品企業都以純化水的標準來設計工藝用水系統。純化水通常是以生活飲用水為水源加以提純，在離子等化學指標上要優于飲用水，微生物限度標準與飲用水的指標一樣，都是<100CFU/ml，更適合于化妝品的生產工藝和配方。 行業趨勢 CFDA于2015年12月15日發布了《國家食品藥品監督管理總局關于化妝品生產許可有關事項的公告》（2015年 第265號），自2016年起化妝品行業執行新的《化妝品生產許可證》制度。從發布的文件要求來看，化妝品行業生產許證獲得條件大有向GMP方向靠攏的趨勢。
純化水ChunhuashuiPurified Water[修訂]【檢查】 微生物限度 取本品不少于1ml，按薄膜過濾法處理后，采用R2A 瓊脂培養基，30～35℃培養不少于5 天，依法檢查（通則1105），每1ml 供試品中需氧菌總數不得過100cfu。R2A 瓊脂培養基處方及制備酵母浸出粉0.5g蛋白胨0.5g酪蛋白水解物0.5g可溶性淀粉0.5g葡萄糖0.5g磷酸二氫鉀0.3g無水硫酸鎂0.024g丙酮酸鈉0.3g瓊脂15g純化水1000ml除葡萄糖、瓊脂外，取上述成分，混合，微溫溶解，調節pH 值使加熱后在25℃的pH值為7.2±0.2，加入瓊脂，加熱溶化后，再加入葡萄糖，搖勻，分裝，滅菌。R2A 瓊脂培養基適用性檢查試驗 照通則1105 中“計數培養基適用性檢查”的胰酪大豆胨瓊脂培養基的適用性檢查方法進行，試驗菌株為銅綠假單胞菌和枯草芽孢桿菌。應符合規定。
藥典與YY/T 1244對純化水 比較項目YY/T 1244-2014中國藥典（2015版）術語/來源本品為飲用水經蒸餾法、離子交換法、反滲透法或其他適宜的方法制得，不含任何添加劑的水。本品為飲用水經蒸餾法、離子交換法、反滲 透或其他適宜方法制得性狀本品應為澄清、無色的液體無色澄明液體、無臭電導率25℃應不大于0.1mS/m符合規定(定性檢測)微生物總數不大于50cfu/ml≤100cfu/ml總有機碳不大于500μg/L 符合規定(定性檢測) 易氧化物 取本品100ml加硫酸（10%）10ml。煮沸后，加高錳酸鉀滴定液 （0.02mol/L）0.10mL再煮沸10min，粉紅色不得完全消失。符合規定(定性檢測)酸堿度（pH）符合規定(定性檢測)硝酸鹽≤0.06 mg/l亞硝酸鹽≤0.02 mg/l氨≤0.3 mg/l不揮發物≤10 mg/l重金屬≤0.3 mg/l備注總有機碳和易氧化物兩項可選做一項相關下載：YY/T 1244-2014
