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?超純水一般指電阻率達到18MΩ的水，它是良好的溶劑，對于環境中的二氧化碳、微生物、塵埃等有良好的溶解力。據經驗，電阻率滿足15MΩ的EDI出水暴露在空氣中1分鐘電阻率就能下降到3-4MΩ，3分鐘后電阻率只能維持在2MΩ左右，可見要保證超純水的質量，必須將制備好的超純水與空氣隔絕開。
? ? ? ?一般而言，隔絕空氣與超純水的方法有薄膜袋法、氮封法、浮頂法，其中有以氮封法使用＊常見，效果＊好。氮封裝置就是氮封法的關鍵，它能及時及時快速的向水箱中填充足夠量氮氣從而隔離超純水與空氣。含有氮封裝置的水箱稱為氮封水箱。
? ? ? ?氮封水箱一般用于EDI或拋光樹脂罐后端，作為緩沖水箱，由水箱、快速泄放閥及微壓調節閥幾大部分組成。快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成。當水箱內壓力升高至設定壓力時，快速泄放閥迅速開啟，將罐內多余壓力泄放。微壓調節閥在儲罐內壓力降低時，開啟閥門，向罐內充注氮氣。
? ? ? ?實際運行過程中氮封水箱可能會不起作用，這需要我們分析故障原因，一般而言泄放閥與微壓調節閥不動作是主要的原因。